2021..5.26   日経産業新聞の記事「TechnoSalon：MEMSと圧電技術、結合の時代に」から

小機能超小型センサーとその電源を供給する両技術

　コラムの著者 山﨑 弘郎氏（東京大学名誉教授）によると、MEMS（Micro Electro Mechanical Systems、微小電子機械シイステム）の国際オンライン会議が2021年4月に開催され、加圧すると電気を発生する圧電材料との結合が話題であったという。

◯日本のプリンターやデジカメの技術が強みになる可能性も

　山﨑教授によれば、圧電材料の技術とMEMS技術の結合は、無線通信の高速化で、小型高速化した通信デバイスがMEMSと共存でき、限られた空間で電源確保とMEMSによって通信技術も格段に高い情報処理機能が実現できるという。

もともと、機械と電子的な制御が一体となったMEMSは、ICなど半導体デバイスの大量生産時代から派生したものである。さらにそのルーツは、リソグラフィー（露光）とエッチング（食刻）のプロセスが半導体製造にあったことから、その技術が高度化して3次元形状の加工ができるようになり、微細で複雑な可動メカニズムも量産できるようになった。これらの技術は、圧力センサーやインクジェットプリンターのノズル、３軸の加速度センサーやジャイロなどに応用されるようになった。さらに真空の空間に可動部を封入する技術によって空気の抵抗なしで高性能な共振器や複合センサーも実現できたという。この技術は日本のメーカーによってインクジェットプリンターのノズルやデジカメの手振れ防止機構に使われて世界に供給してきた。

一方、圧電素材はセラミックスの生産工程を高度化させて高度な機能を実現してきた。ここにMEMSのセンサーとその電源に圧電体からの電力で供給するなどの応用技術が現実化してきた。日本企業は、圧電材料やデバイスの研究開発・生産で独特の技術を持っていることからその強みを生かすことも期待されている。📸🖨🧅🚜💻✏️🏙🌾🍓😅🏃‍♀️🏠😷🦠❄️🍅📖🔎⚡🌍🗻🇯🇵