2014. 8.20　 日経産業新聞の記事「眼光紙背：新半導体装置、羽ばたくか」から

断捨離後に見えた新半導体製造装置

コラムの著者は、従来の半導体製造装置に比べウェアのサイズが約半分のミニマルファヴについて言及し、新半導体での新産業振興について期待している。

○ジェイテテクトのミニマルファヴによる新方式

同社が新半導体装置を奈良県の研究所に導入した。この装置を大手の堀場製作所が半導体センサーの開発用に導入を検討しており、大手半導体メーカーも興味を持っているという。

技術開発は、難航が予測されたが、洗浄装置についての改良のめどが立ったため、今年はミニマルファヴ元年となると関係者は語っているという。

ウェハの直径が小さいことは、生産性の点では不利だが、装置を小型化でき、さらに設備投資が千分の一ですむというコストメリットが有利だ。これなら一品種づつ製造しても採算ライン乗せられるという。塩の発生や少量純水での製造、省スペースといった技術的なハードを何とか越えられそうである。さらにCMOS対応にするために、イオン注入装置などの開発も急いでいるという。国の支援も今年で切れるため、次へのステップがまさに求められる新半導体製造装置の産業である。