2021.11.24   日経産業新聞の記事「TechnoSalon：増えるクリーンルーム、無塵化が無人化へ？」から

クリーンルームの清浄度がどんどん上がる

　コラムの著者 山﨑 弘郎氏（東京大学名誉教授）は、日本企業の工場や研究設備でクリーンルームが製品の高性能化や品質保持のために増え続けているという。

◯最大の汚染源は人間であるという皮肉

　山﨑教授によると、日本企業のクルーンルームの清浄度はJISやISOの規格で半導体工場ではクラス3以上とされているが、粒径0.1マイクロメートル程度の粒子が空気１m3あたり1000個以内、クラス４でも1万個以内と規定されているという。医薬品やワクチンを製造する場所でも空気中の浮遊するダストや細菌などの数について同様の規定があるという。バイオクリーンルームと呼ばれる。

最近課題となっているのが、半導体工場の火災で、特殊な薬品やガス、毒性の強い液体などが使われているために単純な消火ではない点である。

クリーンルームでは、部屋内の空気は高性能のフィルターを通じてダストなどを除去し、さらに温度や湿度を調整して循環させている。壁の隙間などからダストが侵入しないように部屋内部の気圧を少し高く保持するという。密室構造である。火災の場合、室内の作業者や設置された火災検知器が火災の兆候となる煙やにおいを感知するのが遅れるおそれがある。消火や避難にも支障がでる。

また高い清浄度を保つにも課題がある。先端的なクリーンルームでは、存在するダストや細菌は作業者によって持ち込まれるものがほとんどだという。呼吸により空気とともに肺に取り込まれたダストは入口のエアーシャワーでは防げない。つまり無塵化を進めれば進めるほど、最大の汚染源である人間を除く無塵化や作業の省力化が必要となる。🥇🕛💻✏️🏙🌾🍓😅🏃‍♀️🏠😷🦠❄️🍅📖🔎⚡🌍🗻🌐